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微納加工

ELS-F125電子束曝光

 

世界上第一個125kv光刻系統具有大的場寫入均勻性和精細的圖案寫入能力，例如5nm或更小的線寬，這充分利用了我們多年來在開發光刻系統方面積累的豐富經驗。

 

發射器 氧化鋯/鎢熱場發射器

 

加速電壓 125kv、75kv、25kv

 

最小束斑尺寸 φ1.7nm(@125kv)

 

最小線寬 5nm或更小(@125kv)

 

射束電流 5 pA to 100 nA

 

寫場范圍 Max3000umX3000um, Min100umX100um

 

波束定位 Max1000000 x 1000000(20bit DAC)

 

波束定位分辨率 Min0.1nm

 

最大樣本大小 8" wafer or 8" square mask


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