清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
儀器型號：TOF.SIMS 5
廠家：德國ION-TOF GmbH
質量范圍：大于10000原子量單位
分辨率：空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）
技術參數：
1. 并行探測所有離子，包括有機和無機分子碎片。
2. 無限的質量探測范圍（實際測量中大于10000原子量單位）。
3. 完全透過率下實現高的質量分辨率。
4. 極高的橫向和縱向空間分辨率（橫向小于100納米，縱向小于1納米）。
5. 探測靈敏度可達ppm或ppb量級。
儀器特點：
1. 樣品尺寸可以達到100毫米，200毫米，和300毫米。
2. 五維樣品操作臺
3. 多種可選擇離子源：鎵, 銦, 金, 鉍, 氧，銫，氬，氙，SF5, C60...
4. 對分析室樣品可加熱和冷卻控制。
5. 進樣室可加熱/冷卻精確控溫。能測量易揮發樣品甚至液體。
6. 低溫樣品傳輸。
7. 可實現銫和氙的混合濺射。
8. 可實現單點成分分析，表面成分成像，深度剖析，三維分析等多種模式。
9. 采用樣品電荷補償，可以測量絕緣樣品。
X射線衍射分析儀
電感耦合等離子體質譜儀
流變儀
