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半導(dǎo)體外延檢測

日本Merlin


主要技術(shù)參數(shù)：

分辨率 0.8nm @ 15 KV

放大倍數(shù) 12 – 2000000 X

加速電壓 0.02 – 30 KV

探針電流 5 PA – 20 nA

樣品室 330mm * 270mm

樣品臺 5軸中心全自動

用途及功能:

用于觀察、分析和記錄樣品的微觀形貌,可測陰極發(fā)光CL、EBSD

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