德國HEIDELBERG, DWL66+激光直寫
主要規格及技術指標
直寫、制版
樣品尺寸:2英寸~7英寸;邊長50px以上小片
工作波長:405nm
最小特征尺寸:0.6μm
配0.6μm、1μm、2μm模塊
線寬均勻性: 60nm @3σ
套刻對準精度:0.1μm @0.6μm模塊
直寫速度:
6mm2/minute @0.6μm模塊
150mm2/minute @1μm模塊
600mm2/minute @2μm模塊
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