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微納加工

MJB4紫外光刻機

技術參數：

汞燈光源：350W，350nm~450nm；

掩模板尺寸：5英寸x5英寸；

晶片尺寸：最大4英寸，向下兼容；

接觸方式：真空、低真空接觸, 硬接觸，軟接觸和接近式；

對準方式：全手動正面對準，紅外光及CCD反面對準；

最小線寬：0.8μm；

對準精度: ±0.5μm。


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