1. 檢測陶瓷或封閉的電子部件中氣體含量。
2. 檢測的范圍是1～512原子量。
包含十萬余種標準物質氣體。
3. 其幾種主要氣氛(如水汽、氮氣、氧氣、氬氣、氫氣、二氧化碳等)的準確度在5%以內。
4. 具有較高檢測靈敏度，水汽達到100ppm，其余氣氛達到10ppm。
5. 針尖：150um；4mm*2mm；
應用
驗證封裝工藝是否按照預期設計要求進行相應氣體成份封裝；防止有害氣氛比例過高（如水汽）導致器件失效
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