清華大學(xué)無錫應(yīng)用技術(shù)研究院集成電路創(chuàng)新服務(wù)平臺(tái)
型號(hào)：JEM-ARM200F
關(guān)鍵詞:STEM,球差
產(chǎn)地：日本
詳細(xì)內(nèi)容：
儀器介紹：JEM-ARM200F 原子分辨分析型透射電子顯微鏡，JEM-ARM200F是一臺(tái)具有亞埃分辨率的掃描透射電子顯微鏡，配備有電子束球差校正系統(tǒng)、X-射線能譜儀和電子能量損失譜儀。可同時(shí)進(jìn)行原子分辨率的成像和化學(xué)份分析。
掃描透射模式分辨率：暗場(chǎng)像 0.08 nm 明場(chǎng)像 0.14 nm
透射模式分辨率：點(diǎn)分辨率 0.19 nm 信息分辨率 0.10 nm
放大倍率：掃描透射模式 100 to 150,000,000X 透射模式 50 to 2,000,000X
光斑尺寸：最小直徑0.10nm
樣品要求：塊體樣品，樣品大小為直徑3mm的圓，厚度100nm以下；制樣用微柵或者超薄碳膜；粉末可直接寄樣，包制樣，接受磁性樣品
收費(fèi)標(biāo)準(zhǔn)：3000/小時(shí)，含（Fe，Co，Ni）4000/小時(shí)，粉末包制樣
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