清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
第二代精密離子減薄儀 (PIPS II)
技術參數：
離子源
離子槍：兩個具有低能聚焦特性的潘寧離子槍
減薄角度：+10° 到 -10°, 每個離子槍均可獨立調節
離子束能量：100 V 到 8.0 kV
離子束流密度：10m A/cm2 峰值
離子束對中：利用熒光屏精確對中
離子束直徑：可由氣流控制器或放電電壓來調節
樣品臺
樣品大?。? mm 或 2.3 mm
樣品旋轉：1 到 6 rpm 連續可調
束流調制：扇形范圍可調的單束調制或雙束調制
X, Y 平移：在 X 和 Y 方向上各 +/- 0.5 mm
真空系統
干泵系統：兩級隔膜泵支持 80 升/秒的渦輪分子泵
壓力：5x10-6 托基本壓力，8x10-5 托工作壓力
真空規：冷陰極型，用于主樣品室：固體型，用于前級機械泵
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