Hitachi SU8010冷場發射掃描電子顯微鏡
該儀器的主要配置及特點有：
1.超高的分辨率：15KV分辨率可達1nm；
2.優秀的減速模式成像能力，1KV分辨率可達1.3nm；
3.日立專利的ExB設計，不需噴鍍，可以直接觀測不導電樣品；
4.Upper探頭可選擇接受二次電子像或背散射電子像，增加細節觀察能力；
5.可以根據樣品類型和觀測要求選擇打開或關閉減速功能，既保證分辨率又減少荷電；
6. 標配有冷指、電子槍內置加熱器，物鏡光闌具有自清潔功能，能長時間保持最佳工作狀態；
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