清華大學無錫應用技術研究院集成電路創新服務平臺
儀器功能：可測量多晶硅/單晶硅絨面表面單層（二層或多層）減反射膜、和玻璃/有機基底上的薄膜太陽能電池。
技術指標：光源：氙燈
光斑直徑：1-3mm
入射角范圍：20°到90°,5°/步
波長范圍：350-850nm， 250-1100nm， 250-1700nm：0.002°~ 0.02°
波長精度：1nm
測量時間: < 8s （取決于測量模式和粗糙度）
樣品尺寸: 125x125mm 156x156mm,200x200mm電池片, 其它尺寸
測量精度：0.02nm
折射率：0.0002, 100nmSiO2 on Si
厚度測量范圍：0.01nm ~ 50um
消光比：10-6
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